直径0.05mmのダイヤモンドワイヤーでシリコンウエハーをドライカットしてみました。同時に色んな直径でテストカットしています。

実体顕微鏡をスマホで撮影しました。画像は少し歪んでます。

右から2番目のカットラインが直径0.05ｍｍダイヤモンドワイヤーです。カット直後の画像で切粉のふき取りもしていない状態です。

直径が細いとカットラインのチッピングが抑えられます。